Il est bien connu que la micro?lectronique est l'une des technologies les plus influentes du vingti?me si?cle. L'essor des syst?mes micro?lectrom?caniques (MEMS), ces derni?res ann?es, n'aurait pas ?t? possible sans la maturit? de la technologie micro?lectronique. Les MEMS sont de petits dispositifs int?gr?s qui combinent des ?l?ments ?lectroniques, ?lectriques et m?caniques sur une seule puce. Les MEMS promettent de r?volutionner la plupart des micro-produits en combinant la micro-fabrication avec le processus de micro-usinage. Un niveau in?gal? de sup?riorit?, de sophistication, de fonctionnalit?, de fiabilit? et de disponibilit? peut ?tre atteint sur une petite puce de silicium ? un co?t relativement faible. Les MEMS ? l'?chelle nanom?trique se divisent en syst?mes nano?lectrom?caniques (NEMS) et en nanotechnologies.
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