Capacités Variables Et Inductances Mems RF (Intégration 'above-IC') [French]

By Mehdaoui Alexandre

Ce projet presente le design, la simulation et la fabrication des capacites variables a electrodes fragmentees (AlSi) qui se deplacent lateralement a l'aide d'actionneurs electrothermique et electrostatique. Tous les composants passifs MEMS sont realises a de faibles temperatures (compatible 'Above-IC'), en utilisant, une couche sacrificielle polyimide, 4 um d'AlSi comme couche structurelle et du cuivre epais. Pour augmenter la variation de capacite, nous nous sommes concentre sur la variation de surface. Ces solutions evitent l'effet 'pull-in' mais la variation de la capacite reste inferieure a 100% et la consommation en puissance est forte. Nous avons alors choisi de developper une autre capacite variable a electrodes fragmentees et par actionnement lateral electrostatique. Des circuits LC ont ete realises et caracterises, avec une variation de frequence de 25% a 2GHz. Les inductances en cuivre ont ete fabriquees avec succes et mesurees. Enfin, dans le meme procede, nous avons fabrique et caracterise des filtres passes-bandes WLAN et DCS pour un demonstrateur reconfigurable 'front end'. Ces composants ont ete fabriques avec du cuivre epais 10 um."

• Format: Paperback
• Language: French
• ISBN: 3841741290
• ISBN13: 9783841741295
• Release Date: February 2018
• Publisher: Omniscriptum
• Length: 184 Pages
• Weight: 0.61 lbs.
• Dimensions: 0.4" x 6.0" x 9.0"