Array di microscariche su silicio [Italian]

By Mukesh Kumar Kulsreshath

Il microplasma sta diventando un argomento importante nella comunit del plasma. I microplasmi comprendono le scariche a catodo cavo (MHCD), i microgetti e le scariche a barriera dielettrica (DBD). Tutti possono funzionare a pressione atmosferica e sono plasmi non di equilibrio. Tra questi diversi tipi di microscariche, le MHCD appaiono come una configurazione di dispositivo molto promettente per pilotare corrente continua o alternata attraverso diversi gas. In questo particolare reattore, il microplasma stabile confinato all'interno di una cavit . Sebbene siano state proposte numerose configurazioni di dispositivi MHCD, non sono ancora stati presentati sistemi integrati che coinvolgano MHCD e microelettronica. L'obiettivo di questo lavoro pubblicato quello di proporre diversi tipi di microreattori al silicio realizzati con tecniche di microfabbricazione, caratterizzarli mediante diagnostica elettrica e ottica e testarli in parallelo per il trattamento dei gas. In questo modo, si intende fornire una migliore comprensione dei fenomeni fisici legati alle matrici di microscariche realizzate in silicio.

• Format: Paperback
• Language: Italian
• ISBN: 6204737694
• ISBN13: 9786204737690
• Release Date: November 2024
• Publisher: Edizioni Sapienza
• Length: 148 Pages
• Weight: 0.50 lbs.
• Dimensions: 0.3" x 6.0" x 9.0"