Amorphous Silicon

By Hiroaki Okamoto, Eiichi Maruyama, Toshikazu Shimada, et al.

Amorphe Festk rper wie beispielsweise Gl ser weisen keine geordnete Kristallstruktur auf. Eine bedeutende Rolle spielen derartige Materialien, insbesondere amorphes Silicium, in der Halbleiterindustrie, aus deren Blickwinkel sich die Autoren dieses Buches dem Thema zuwenden. Neben Herstellungsmethoden und strukturellen Aspekten werden beispielsweise elektrische und thermische Eigenschaften, photoinduzierte Effekte und Si-Speziallegierungen besprochen. (12/98)

• Format: Hardcover
• Language: English
• ISBN: 0471982938
• ISBN13: 9780471982937
• Release Date: March 1999
• Publisher: Wiley
• Length: 270 Pages
• Weight: 1.11 lbs.
• Dimensions: 0.8" x 6.3" x 9.3"