
Im Mittelpunkt der Neuauflage dieses Bestsellers steht die Funktionsweise, der Betrieb und die Auswahl von technischer Ausr?stung f?r die Halbleiter- und optische Industrie im weitesten Sinne. Alle Angaben zu Bauelementen wurden dem aktuellen Stand der Technik angepasst; der...


An introduction to the theory and practice of modern vacuum technology, with applications. Focuses on the understanding, operation, and selection of equipment for vacuum processes used in semiconductor, optical, and related technologies. This 2nd Edition has new information on...