Изготовление нанопорис&# [Russian]

By Авад Могода

Характеристики пористого слоя Si, сформированного в результате усиленного серебром химического травления p-Si в водном растворе HF/HNO3, зависят от концентрации ионов Ag в ванне осаждения, концентрации травителя (HF) и окислителя (HNO3), а также времени травления Si-подложки. Результаты РЭМ подтвердили, что осаждение ионов серебра из 1,0 10-3 М раствора AgNO3 на p-Si перед химическим травлением в HF/HNO3 привело к образованию равномерного PSL по сравнению с другими концентрациями нитрата серебра. Данные импеданса показали, что при увеличении концентрации HF и азотной кислоты происходит растворение Si. Изготовление PSL с круглыми отверстиями правильной формы и малого диаметра происходило быстрее при Ag-модифицированном химическом травлении p-Si, чем при традиционном травлении пятен в том же травильном растворе, при котором получались поры значительной ширины. Отсутствие пика серебра в EDX-измерениях для PSL, полученных в результате Ag-модифицированного химического травления, свидетельствует о том, что осажденный Ag полностью растворился в р

• Format: Paperback
• Language: Russian
• ISBN: 6206927385
• ISBN13: 9786206927389
• Release Date: December 2023
• Publisher: Sciencia Scripts
• Length: 52 Pages
• Weight: 0.20 lbs.
• Dimensions: 0.1" x 6.0" x 9.0"