Обработка пленки PZT [Russian]

By Жуан Рамос Кано

В последние четыре десятилетия развитие микроэлектронной промышленности задало тренд на производство сверхтонких (с нанометрической микроструктурой) и сверхчистых (без примесей и дефектов) материалов, гарантирующих повышение функциональной эффективности их деталей при минимально возможном объеме. Общая цель данной работы заключалась в синтезе (осаждении и отжиге) ферроэлектрических пленок титаната свинца (ТТС), осажденных на подложку Pt/Ti/SiO2/Si . В связи с вышеизложенным использовался метод CVD-AA. Как правило, для такого типа пленок отжиг является необходимым этапом для получения желаемой перовскитной (ферроэлектрической) фазы. Работа включает в себя соответствующий термогравиметрический анализ, а также кристаллографическую и микроструктурную характеристику. Среди полученных результатов можно отметить, что пленки обладают хорошей химической и структурной однородностью на микрометрическом уровне, фазы, присутствующие в пленках, соответствуют желаемым, где наблюдаются ферро

• Format: Paperback
• Language: Russian
• ISBN: 6207015088
• ISBN13: 9786207015085
• Release Date: January 2024
• Publisher: Sciencia Scripts
• Length: 80 Pages
• Weight: 0.28 lbs.
• Dimensions: 0.2" x 6.0" x 9.0"